我国电子工业部高纯水水质试行标准
化学指标单位：μg/L
| 序号 | 水质项目 | 一级高纯水指标 | 二级高纯水指标 |
| 1 | 电阻率（25℃）MΩ·cm | ≥15 | ≥10 |
| 2 | 电导率，μs/cm | 0.05 | 0.1 |
| 3 | PH值 | 6.8～7.2 | 6.6～7.4 |
| 4 | 细菌总数，个/mL | ＜3 | ＜9 |
| 5 | 微粒（直径＞0.5μm，粒/mL） | ＜150 | ＜300 |
| 6 | 二氧化硅 | ＜10 | ＜20 |
| 7 | 有机物（以COD计） | ＜0.3 | ＜0.5 |
| 8 | 钠 Na | ＜0.5 | ＜2 |
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主营：水处理设备，制药纯化水设备，反渗透设备，污水处理设备
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